2台国产DUV光刻机的问世意味着什么？ - 知乎
另外，浸润式DUV,和干式DUV，其中最大的区别，就是在晶圆前面，加了一层介质水。 干式DUV采用的是空气作为光线传播的介质，浸润式DUV采用的是水来做光线传播的介质，而光线在水中产生折 …
Why are we going from DUV straight to EUV lithography?
Maybe you want to ask a more specific question? What's the point of 50nm EUV if DUV can already achieve this as illustrated in my answer. There is an energy density charge transfer explosive …
工信部公开推广两款国产 DUV 光刻机，国产 DUV 光刻机在研发过程中 …
工信部公开推广两款国产 DUV 光刻机，国产 DUV 光刻机在研发过程中遇到了哪些主要的技术难题？ 9月9日，工信微报微信公众号发文披露《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。 …
14nm光刻机是怎么做出7nm和5nm芯片的？ - 知乎
DUV是目前比较成熟的方案，现阶段最高采用193nm波长的深紫外光源，被广泛应用在7nm（N7)以及7nm以前的工艺里。 伴随着工艺的继续微缩，DUV已经力不从心，所以现在无论是台积电还是三星 …
国产duv光刻机出来了，中芯国际是否能在一年内达到10-7nm左右的等 …
Jan 23, 2025 · 少数客户是谁，影响范围可能有多大？ ASML没有答案。 由于更先进的EUV光刻设备早在2019年被禁运，此次被限制出口的2050i，2100i基本上可以视作当前最先进的一批DUV光刻机型 …
DUV 和 EUV 光刻机的区别在哪儿？ - 知乎
相比之下，DUV技术的波长通常在193纳米左右，尽管这在传统意义上已经算是非常短的波长了，但在EUV面前还是显得有些“力不从心”。 为什么EUV能够在半导体制造中占据如此重要的位置呢？
你似乎来到了没有知识存在的荒原 - 知乎
知乎，中文互联网高质量的问答社区和创作者聚集的原创内容平台，于 2011 年 1 月正式上线，以「让人们更好的分享知识、经验和见解，找到自己的解答」为品牌使命。知乎凭借认真、专业、友善的社区 …
上海微电子能在2025年前攻克7nm光刻机吗？ - 知乎
一张嘴就是槽点。 根本不存在所谓的7nm光刻机，直接把光刻机说成是7nm、14nm、28nm都是有问题的。 光刻机应该是按照光源波长来划分: 用436nm光源的是g-line光刻机， 用365nm光源的是i-line光刻 …
荷兰正式出手，限制 DUV 光刻机出口，这么做的原因是什么？
” DUV销量大幅增长，来自中国大陆收入占比大幅增长至24% 从具体的收入来源看，按设备技术划分，ASML二季度来自ArFi设备（浸没式DUV光刻设备）的营收占比为49%，相比今年一季度增长了高 …
光刻设备如何分类？ - 知乎
光刻设备，即光刻机，可以根据不同的分类标准划分为多种类型。 1. 根据光源类型分类： EUV光刻机（Extreme Ultraviolet Lithography）：采用极紫外光（波长约13.5纳米）作为光源，适用于最先进节 …